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 3D numerical analysis of influence of the non-uniform deposition rate on the hillock density at HVPE-GaN surface 非均匀沉积速率对HVPE-GaN表面小丘密度影响的三维数值分析
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期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Xue-Feng Han; Jae-Hak Lee; Yoo-Jin Lee; Jae-Ho Song; Kyung-Woo Yi 出版日期：2016-12-23 |
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