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3D numerical analysis of influence of the non-uniform deposition rate on the hillock density at HVPE-GaN surface

小丘 受器 沉积（地质） 旋转（数学） 薄脆饼 体积流量 增长率 方位角 材料科学 转速 化学 机械 分析化学（期刊） 外延 复合材料 光学 纳米技术 几何学 物理 地质学 数学 图层（电子） 古生物学 量子力学 色谱法 沉积物
作者
Xue‐Feng Han,Jae‐Hak Lee,Yoojin Lee,Jae‐Ho Song,Kyung‐Woo Yi
出处
期刊：Journal of Crystal Growth [Elsevier]
日期：2016-12-22 卷期号：474: 81-88 被引量：4
标识
DOI：10.1016/j.jcrysgro.2016.12.081
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