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Growth of Large Diameter 4H-SiC by TSSG Technique
TSSG技术生长大直径4H-SiC
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期刊:Materials Science Forum 作者:Kazuhiko Kusunoki; Nobuyoshi Yashiro; Norimichi Okada; Koji Moriguchi; Kazuhito Kamei; et al 出版日期:2013-01-25 |
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