Linewidth Reconstruction Employing a Radial Basis Function Network in Optical Scatterometry - 科研通

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标题	Linewidth Reconstruction Employing a Radial Basis Function Network in Optical Scatterometry 光学散射测量中径向基函数网络的线宽重建相关领域激光线宽光学径向基函数网络径向基函数计量学材料科学计算机科学物理算法人工神经网络激光器人工智能
网址	https://ieeexplore.ieee.org/ielx7/6287639/7419931/07588079.p...
DOI	10.1109/access.2016.2616367 doi
其它	期刊：IEEE access 作者：Hung-Fei Kuo; Muhamad Faisal; Shun‐Feng Su 出版日期：2016-01-01
求助人	玛卡巴卡在 2024-07-14 22:22:29 发布自北京，悬赏 10 积分
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