| 标题 |
 Application of femtosecond laser micromachining in silicon carbide deep etching for fabricating sensitive diaphragm of high temperature pressure sensor 飞秒激光微加工在高温压力传感器敏感膜片碳化硅深蚀中的应用
相关领域
材料科学
表面微加工
蚀刻（微加工）
薄脆饼
碳化硅
激光器
飞秒
表面粗糙度
硅
光电子学
微电子机械系统
机械加工
深反应离子刻蚀
表面光洁度
各向同性腐蚀
光学
复合材料
反应离子刻蚀
制作
冶金
病理
物理
替代医学
医学
图层（电子）
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Sensors and actuators. A, Physical 作者：You Zhao; Yulong Zhao; Lukang Wang 出版日期：2020-07-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
寻道图强
shinysparrow
爱静静
YifanWang
sutharsons
浅尝离白
Singularity
贰鸟
TrucCSC
随机子
共享精神
Magali
70
从容芮
穆紫
樱桃猴子
慕青
lanxinyue
丘比特
杳鸢
皖公网安备34019202002308
