A 7.25 μ K Ultrahigh Resolution MEMS Resonant Thermometer

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标题	A 7.25 μ K Ultrahigh Resolution MEMS Resonant Thermometer 7.25 μ K超高分辨率MEMS谐振温度计相关领域温度计微电子机械系统温度测量分辨率（逻辑）材料科学光电子学电气工程物理光学工程类计算机科学量子力学人工智能
网址	https://doi.org/10.1109/jsen.2024.3370956
DOI	10.1109/jsen.2024.3370956 doi
其它	期刊：IEEE sensors journal 作者：Z. Wang; Liangbo Ma; Xiaorui Bie; Xingyin Xiong; Zhen Zhai; et al 出版日期：2024-04-15
求助人	自然的沛山在 2024-06-11 09:37:32 发布自山东，悬赏 10 积分
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