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  Impact of realistic source shape and flexibility on source mask optimization 真实源形状和柔性对源掩模优化的影响
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期刊：Journal of Micro/Nanolithography MEMS and MOEMS 作者：Hajime Aoyama; Yasushi Mizuno; Noriyuki Hirayanagi; Naonori Kita; Ryota Matsui; et al 出版日期：2013-12-02 |
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