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Precise quantification of the adhesion between metallic thin films and silicon wafer

薄脆饼 材料科学 分层（地质） 胶粘剂 薄膜 复合材料 硅 粘附 刮擦 可靠性（半导体） 半导体 光电子学 表征（材料科学） 钨 纳米技术 图层（电子） 冶金 古生物学 功率（物理） 物理 量子力学 生物 俯冲 构造学
作者
Zhifu Zhang,Chenyang Wang,Xiaodong Wang,Kolan Madhav Reddy,Pan Liu,Yan Wang,Shuangxi Song
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier]
日期：2023-10-05 卷期号：784: 140081-140081 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2023.140081
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