电子束光刻
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铜
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医学
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作者
Wei Wu,R. Jonckheere,Zsolt Tökei,S. H. Brongersma,M. Van Hove,Karen Maex
出处
期刊:Journal of vacuum science & technology
[American Vacuum Society]
日期:2004-07-01
卷期号:22 (4): L11-L14
被引量:5
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