Surface passivation of silicon by rf magnetron-sputtered silicon nitride films

钝化 氮化硅 材料科学 薄脆饼 光电子学 光电导性 基质(水族馆) 载流子寿命 带隙 腔磁控管 微波食品加热 薄膜 分析化学(期刊) 溅射 纳米技术 化学 图层(电子) 海洋学 物理 量子力学 地质学 色谱法
作者
Michael Vetter
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier]
卷期号:337 (1-2): 118-122 被引量:39
标识
DOI:10.1016/s0040-6090(98)01195-x
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
LZQ应助穿裤子的云采纳,获得30
4秒前
7秒前
7秒前
刘璇1发布了新的文献求助10
8秒前
会飞的鱼完成签到,获得积分10
8秒前
研友_pnxNq8发布了新的文献求助10
9秒前
10秒前
Yuliu发布了新的文献求助10
12秒前
呆萌雪晴发布了新的文献求助30
12秒前
LIN96T关注了科研通微信公众号
13秒前
13秒前
充电宝应助科研通管家采纳,获得10
13秒前
劲秉应助科研通管家采纳,获得30
14秒前
快乐滑板应助科研通管家采纳,获得10
14秒前
华仔应助科研通管家采纳,获得10
14秒前
14秒前
FashionBoy应助科研通管家采纳,获得10
14秒前
快乐滑板应助科研通管家采纳,获得10
14秒前
科研通AI2S应助科研通管家采纳,获得10
14秒前
SciGPT应助科研通管家采纳,获得10
14秒前
14秒前
14秒前
仙妮宝贝发布了新的文献求助20
15秒前
15秒前
15秒前
16秒前
16秒前
16秒前
pluto应助lalala采纳,获得10
17秒前
嘟嘟嘟完成签到,获得积分20
17秒前
17秒前
zho发布了新的文献求助10
19秒前
qiu发布了新的文献求助10
20秒前
wing完成签到 ,获得积分10
20秒前
种草匠完成签到,获得积分10
20秒前
俭朴尔竹发布了新的文献求助10
20秒前
布鲁啤梨麻花馅完成签到,获得积分10
21秒前
26秒前
江文完成签到,获得积分20
26秒前
梗梗完成签到,获得积分10
27秒前
高分求助中
Production Logging: Theoretical and Interpretive Elements 2500
Востребованный временем 2500
Aspects of Babylonian celestial divination : the lunar eclipse tablets of enuma anu enlil 1500
Agaricales of New Zealand 1: Pluteaceae - Entolomataceae 1040
Healthcare Finance: Modern Financial Analysis for Accelerating Biomedical Innovation 1000
Classics in Total Synthesis IV: New Targets, Strategies, Methods 1000
지식생태학: 생태학, 죽은 지식을 깨우다 600
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 材料科学 生物 工程类 有机化学 生物化学 纳米技术 内科学 物理 化学工程 计算机科学 复合材料 基因 遗传学 物理化学 催化作用 细胞生物学 免疫学 电极
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3458818
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3053567
关于积分的说明 9036986
捐赠科研通 2742746
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1504524
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 695334
邀请新用户注册赠送积分活动 694537