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Understanding and reducing mid-spatial frequency ripples during hemispherical sub-aperture tool glass polishing

抛光 材料科学 光学 涟漪 空间频率 光圈(计算机存储器) 半径 声学 计算机科学 复合材料 物理 计算机安全 量子力学 电压
作者
Tayyab Suratwala,J. Menapace,G. Tham,R. Steele,Lana L. Wong,Nathan J. Ray,Brian Bauman
出处
期刊:Applied Optics [The Optical Society]
卷期号:61 (11): 3084-3084 被引量:8
标识
DOI:10.1364/ao.455233
摘要

During sub-aperture tool polishing of glass optics, mid-spatial surface ripples are generated because of material removal non-uniformities during tool linear translation (resulting in feed ripples) and tool pathway step overlaps (resulting in pitch ripples). A variety of tool influence function (TIF) spots, trenches, and patches were created to understand and minimize such ripples on fused silica workpieces after polishing with cerium oxide slurry using a rotating hemispherical pad-foam tool. The feed ripple amplitude can be decreased by reducing the non-uniformities in the pad texture and/or by minimizing a derived feed ripple metric (rf=Vmax0.5Vf/Rt) via adjustments in processing parameters. Pitch ripples can be minimized by reducing relative step distance to spot radius ratio (xs/at) and by achieving a flat bottom trench shape cross section or by reducing the material removal per pass. Using the combined methods, an overall ripple error of ∼1.2nm rms has been achieved.

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