Recent Progress of Cleaning Technologies and Cleanliness Evaluation Methods for Metal Substrates

摘要: 清洗技术及清洁度评价的发展已难以满足制造业日益提升的要求,因此综述清洗技术及清洁度评价方法变得尤为重要。探讨了面向金属基材的干式及湿式清洗技术的原理、典型案例及发展水平;分析了清洁度定性及定量评价方法的特点、评价标准及使用范围。在此基础上,指出了清洗技术及清洁度评价方法的发展趋势。分析表明:高效复合清洗工艺及绿色清洗技术、多样化的清洁度评价方法及面向特定工艺的清洁度评价体系将是未来研究的重点关注问题;此外,提高基材初始清洁度,重视基材主动清洗技术将是进一步提升金属基材表面清洁度的关键。以金属基材的清洗及评价为视角系统地综述了清洗技术及清洁度评价方法的研究进展,为后续的相关研究提供了全面的参考。