化学气相沉积
等离子体增强化学气相沉积
燃烧化学气相沉积
钨
混合物理化学气相沉积
沉积(地质)
离子镀
材料科学
化学工程
等离子体处理
化学
无机化学
薄膜
纳米技术
等离子体
碳膜
冶金
地质学
物理
工程类
古生物学
量子力学
沉积物
标识
DOI:10.1002/9783527615858.ch3
摘要
This chapter contains sections titled: Introduction Precursors-Synthesis-Proptie Chemical Vapor Deposition (CVD) In Situ Catalysis of Tungsten Deposition Laser-Assisted Chemical Vapor Deposition (LCVD) Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Summary and Outlook
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI