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CuAlO2/AlN double-layer thin film prepared by the spin coating approach

材料科学旋涂长石涂层退火（玻璃）薄膜电介质扫描电子显微镜衍射图层（电子）光电子学复合材料光学纳米技术物理冶金氧化物

作者

Chung‐Lun Yu,Subramanian Sakthinathan,Min-Te Lu,Shu-Tzu Yu,Cheng-Yung Kuo,Yu-Feng You,Te‐Wei Chiu

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier]
日期：2022-04-25 卷期号：753: 139260-139260 被引量：5

标识

DOI：10.1016/j.tsf.2022.139260

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