Electron paramagnetic resonance and raman spectroscopy characterization of diamond films fabricated by HF CVD method

拉曼光谱 电子顺磁共振 化学气相沉积 钻石 扫描电子显微镜 分析化学(期刊) 半最大全宽 材料科学 光谱学 化学 核磁共振 光学 纳米技术 光电子学 复合材料 有机化学 物理 量子力学
作者
K. Fabisiak,M. Szreiber,C. Uniszkiewicz,Tomasz Runka,D. Kasprowicz
出处
期刊:Crystal Research and Technology [Wiley]
卷期号:45 (2): 167-172 被引量:11
标识
DOI:10.1002/crat.200900406
摘要

Abstract Thin polycrystalline diamond films were synthesized on silicon substrate by Hot Filament Chemical Vapor Deposition (HF CVD) technique from a mixture of hydrogen and different content of methyl alcohol. A comparative study on the Electron Paramagnetic Resonance (EPR), Raman spectroscopy and Scanning Electron Microscopy (SEM) were performed. It was shown that EPR signal, Raman spectra and morphology, studied by SEM, strongly depend on the ratio of CH 3 OH/H 2 in the HF CVD reactor. The peak‐to‐peak line‐width in EPR signal varies from 0.09 to 0.8 mT depending on diamond quality. The Raman spectra of our diamond film showed, except well defined diamond Raman lines positioned at 1332 cm ‐1 with different Full Width at Half Maximum (FWHM), a broad band having maximum at around 1530 cm ‐1 which is characteristic for amorphous carbon phase. The obtained results show that EPR, SEM and Raman spectroscopy yield complementary results about the defects present in CVD diamond films. (© 2010 WILEY‐VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim)
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
阿斯顿发布了新的文献求助10
刚刚
billevans完成签到,获得积分10
1秒前
XHH1994完成签到,获得积分10
1秒前
张火火发布了新的文献求助20
1秒前
爆米花应助DYQin采纳,获得10
1秒前
mingyahaoa完成签到,获得积分10
1秒前
机灵的白筠完成签到,获得积分20
1秒前
CipherSage应助燕子采纳,获得30
1秒前
Accpted河豚发布了新的文献求助10
1秒前
BenLuo发布了新的文献求助30
2秒前
云歇雨住发布了新的文献求助10
2秒前
Oak完成签到 ,获得积分10
2秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
2秒前
chen完成签到,获得积分10
2秒前
3秒前
3秒前
3秒前
3秒前
3秒前
4秒前
光_sun完成签到,获得积分10
4秒前
腦內小劇場完成签到,获得积分10
4秒前
无花果应助徐xmr采纳,获得10
4秒前
4秒前
木木酱完成签到,获得积分10
5秒前
yuajianhei完成签到,获得积分10
5秒前
CNAxiaozhu7完成签到,获得积分10
5秒前
莫三颜发布了新的文献求助10
5秒前
5秒前
敢甘完成签到,获得积分10
5秒前
qqj发布了新的文献求助80
6秒前
DD发布了新的文献求助10
6秒前
微笑完成签到,获得积分10
7秒前
real_cy完成签到,获得积分10
7秒前
7秒前
7秒前
星星轨迹完成签到,获得积分10
7秒前
popooo完成签到,获得积分10
8秒前
9秒前
风清扬发布了新的文献求助10
9秒前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
Cognitive Neuroscience: The Biology of the Mind 1000
Technical Brochure TB 814: LPIT applications in HV gas insulated switchgear 1000
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 500
Nucleophilic substitution in azasydnone-modified dinitroanisoles 500
不知道标题是什么 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3969060
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3513962
关于积分的说明 11171223
捐赠科研通 3249302
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1794772
邀请新用户注册赠送积分活动 875377
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 804769