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作者
Hiroyuki Sasahara,
Tomoko Kikuma,
Rei Koyasu,
Yasuhiro Yao
出处
期刊：
Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
[Elsevier]
日期：2014-04-24
卷期号：38 (4): 775-782
被引量：72
标识
DOI：10.1016/j.precisioneng.2014.04.005
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