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Effect of Ion Implantation on the Adhesion of Positive Diazoquinone-Novolak Photoresist Films to Single-Crystal Silicon

光刻胶 薄脆饼 材料科学 硅 硼 离子 粘附 氧化硅 图层（电子） 氧化物 聚合物 Crystal（编程语言） 化学工程 分析化学（期刊） 复合材料 纳米技术 化学 光电子学 有机化学 冶金 氮化硅 计算机科学 工程类 程序设计语言
作者
С. А. Вабищевич,С. Д. Бринкевич,В. С. Просолович,Н. В. Вабищевич,Д. И. Бринкевич
出处
期刊：Surface investigation: x-ray, synchrotron and neutron techniques [Pleiades Publishing]
日期：2020-11-01 卷期号：14 (6): 1352-1357 被引量：5
链接
psu.by psu.bydoi.org
标识
DOI：10.1134/s1027451020060476
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应助活动周（3月24-30日）排名
今日排名（3月29日）
1#22 nozero
11
110
2#16 小杨同学
8
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3#13 kyri
2
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4#12 levn
6
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5#10 Nichols
5
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6#4 cllcx
2
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7#4 天黑不打烊
2
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8#4 遇上就这样吧
2
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9#4 shinysparrow
2
20
10#2 pcr163
1
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11#2 MchemG
1
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12#2 andrele
1
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13#2 anagenesis
1
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总排名
1#7493 nozero
3000
44930
2#7090 SYLH
3535
35550
3#6147 shinysparrow
2531
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4#5943 科研小民工
2282
36610
5#3902 xjcy
1944
19580
6#2707 劲秉
596
21110
7#2490 小透明
986
15040
8#1891 天才小能喵
901
9900
9#1796 迟大猫
898
8980
10#1464 CAOHOU
728
7360
11#1200 S77
600
6000
12#1162 昏睡的蟠桃
296
8660
13#1072 加菲丰丰
532
5400
14#1037 从容芮
437
6000
15#978 浦肯野
403
5750
16#840 子车茗
386
4540
17#829 36456657
404
4250
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392
3980
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325
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56
5910
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319
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22#614 1+1
263
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237
3510
24#564 QOP
280
2840
25#523 史小菜
241
2820
26#514 pcr163
54
4600
27#509 curtisness
249
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28#452 彭于彦祖
127
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215
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182
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182
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181
1880
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170
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163
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154
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138
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46#270 遇上就这样吧
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122
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129
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50#254 见青山
126
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