Scheduling Cluster Tools with Multi-Space Process Modules and a Multi-Finger-Arm Robot in Wafer Fabrication Subject to Wafer Residency Time Constraints

晶圆制造 薄脆饼 计算机科学 过程(计算) 制造工程 材料科学 工程类 纳米技术 操作系统
作者
Gu Lei,Naiqi Wu,Yan Qiao,Siwei Zhang,Tan Li
出处
期刊:Applied sciences [Multidisciplinary Digital Publishing Institute]
卷期号:14 (20): 9490-9490
标识
DOI:10.3390/app14209490
摘要

To increase productivity, more sophisticated cluster tools are developed. To achieve this, one of the ways is to increase the number of spaces in a process module (PM) and the number of fingers on a robot arm as well, leading to a cluster tool with multi-space PMs and a multi-finger-arm robot. This paper discusses the scheduling problem of cluster tools with four-space PMs and a four-finger-arm robot, a typical tool with multi-space PMs and a multi-finger-arm robot adopted in modern fabs. With two arms in such a tool, one is used as a clean one, while the other is used as a dirty one. In this way, wafer quality can be improved. However, scheduling such cluster tools to ensure the residency time constraints is very challenging, and there is no research report on this issue. This article conducts an in-depth analysis of the steady-state scheduling for this type of cluster tools to explore the effect of different scheduling strategies. Based on the properties, four robot task sequences are presented as scheduling strategies. With them, four linear programming models are developed to optimize the cycle time of the system and find feasible schedules. The performance of these strategies is dependent on the activity parameters. Experiments are carried out to test the effect of different parameters on the performance of different strategies. It shows that, given a group of parameters, one can apply all the strategies and choose the best result obtained by one of the strategies.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
3秒前
蓝意完成签到,获得积分0
4秒前
xiaohongmao完成签到,获得积分10
9秒前
12秒前
qweerrtt完成签到,获得积分10
19秒前
19秒前
与共发布了新的文献求助10
20秒前
carly完成签到 ,获得积分10
21秒前
颢懿完成签到 ,获得积分10
24秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
25秒前
27秒前
ljc完成签到 ,获得积分10
28秒前
Java完成签到,获得积分10
32秒前
34秒前
鲤鱼安青完成签到 ,获得积分10
36秒前
36秒前
dollarpuff完成签到 ,获得积分10
39秒前
39秒前
mmmmmMM完成签到,获得积分10
46秒前
luckweb完成签到,获得积分10
52秒前
猫的毛完成签到 ,获得积分10
53秒前
nicky完成签到 ,获得积分10
54秒前
麦子完成签到 ,获得积分10
55秒前
55秒前
Wilson完成签到 ,获得积分10
56秒前
luckweb发布了新的文献求助10
56秒前
56秒前
1分钟前
1分钟前
传奇3应助wujiwuhui采纳,获得10
1分钟前
开心寄松完成签到,获得积分10
1分钟前
北宫完成签到 ,获得积分10
1分钟前
wansida完成签到,获得积分10
1分钟前
QXS完成签到 ,获得积分10
1分钟前
1分钟前
菠萝完成签到 ,获得积分10
1分钟前
领导范儿应助Villanellel采纳,获得10
1分钟前
wintersss完成签到,获得积分10
1分钟前
尹尹发布了新的文献求助10
1分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
1分钟前
高分求助中
【提示信息,请勿应助】关于scihub 10000
Les Mantodea de Guyane: Insecta, Polyneoptera [The Mantids of French Guiana] 3000
徐淮辽南地区新元古代叠层石及生物地层 3000
The Mother of All Tableaux: Order, Equivalence, and Geometry in the Large-scale Structure of Optimality Theory 3000
Handbook of Industrial Diamonds.Vol2 1100
Global Eyelash Assessment scale (GEA) 1000
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 550
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 4038066
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3575779
关于积分的说明 11373801
捐赠科研通 3305584
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1819239
邀请新用户注册赠送积分活动 892655
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 815022