Enhancement of c-Si surface passivation quality by increasing in situ H2 flow rate

钝化 材料科学 退火(玻璃) 原位 无定形固体 非晶硅 化学工程 晶体硅 光电子学 纳米技术 冶金 结晶学 图层(电子) 化学 有机化学 工程类
作者
Jian He,Wei Li,Yin Wang,Jiliang Mu,Kun An,Xiujian Chou
出处
期刊:Materials Letters [Elsevier]
卷期号:161: 175-177 被引量:11
标识
DOI:10.1016/j.matlet.2015.08.096

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