Polarization independent electron-beam written 2-D longwave infrared guided-mode resonant filters

材料科学 光学 反应离子刻蚀 硒化锌 光电子学 傅里叶变换红外光谱 红外线的 量子级联激光器 傅里叶变换光谱学 电子束光刻 栅栏 蚀刻(微加工) 太赫兹辐射 物理 纳米技术 抵抗 图层(电子)
作者
Neelam Gupta,Junyeob Song
出处
期刊:Optics continuum [The Optical Society]
卷期号:2 (1): 197-197 被引量:1
标识
DOI:10.1364/optcon.474482
摘要

We fabricated guided mode resonance filters (GMRFs) with two-dimensional (2-D) gratings operating in the 8 to 12 µm long-wave infrared (LWIR) region by depositing amorphous germanium (Ge) film to form a zero-contrast (ZC) waveguide-grating (WGG) on polished zinc selenide (ZnSe) substrates with and without antireflection coating (ARC). We employed high-spatial resolution e-beam lithography and reactive-ion etching (RIE) nanofabrication techniques. We characterized the fabricated filters for their polarization independent spectral performance using a tunable quantum cascade laser (QCL) system and a modified Fourier transform infrared (FTIR) spectrometer. Here, we will present both theoretical and experimental results and their comparison.
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