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感应耦合等离子体抛光化学机械平面化蚀刻（微加工）等离子体材料科学等离子体刻蚀等离子体原子发射光谱冶金纳米技术光电子学图层（电子）物理量子力学

作者

Qiubo Li,Shouzhi Wang,Lei Liu,Kepeng Song,Jiaoxian Yu,Guodong Wang,Jingliang Liu,Peng Cui,Siheng Chen,Defu Sun,Zhongxin Wang,Xiangang Xu,Lei Zhang

出处

期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2024-09-10 卷期号：679: 161207-161207 被引量：2

标识

DOI：10.1016/j.apsusc.2024.161207

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