Measurement of Surface Shape and Residual Stress of Thin Film Deposited on Large-Size Wafers By Using Fringe Reflectometry and Wavelet Transform

残余应力 材料科学 薄脆饼 薄膜 光学 反射计 复合材料 光电子学 纳米技术 计算机视觉 计算机科学 时域 物理
作者
Chuen-Lin Tien,Chih-Kai Chang,Hong-Yi Lin
标识
DOI:10.1109/ecei53102.2022.9829507
摘要

We present a fast and full field measurement system to measure the surface profile and residual stress in single-layer and multilayer thin films deposited on large substrates. The principle of the optical measurement system is based on the combination of the projection fringe reflection method and wavelet transform. This method obtains the 3D surface profile and radius of curvature of the 8-inch silicon wafer before and after the coating to calculate the residual stress in the multilayer coating. MgF2 single layer and SiO2/Ge/SiO2 multilayer thin films were fabricated by dual electron-beam evaporation technique. The three-layer SiO2/Ge/SiO2 thin film with a thickness of 976 nm was deposited on an 8-inch silicon wafer. The results show that the measured curvature radii before and after film deposition were -87.086 m and -165.726 m, respectively. The average residual stress of SiO2/Ge/SiO2 thin-film was 17.3 MPa by using the modified Stoney's formula. This residual stress value is positive, indicating a tensile stress state. The proposed fringe reflection measurement method can quickly measure the surface shape and residual stress of thin films deposited on large-size wafers.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
高高高完成签到 ,获得积分10
1秒前
彪壮的亦瑶完成签到 ,获得积分10
2秒前
科研通AI2S应助科研通管家采纳,获得10
4秒前
Perry应助科研通管家采纳,获得60
4秒前
Akim应助科研通管家采纳,获得10
4秒前
鱼雷完成签到,获得积分10
5秒前
廿伊发布了新的文献求助10
7秒前
我是125完成签到,获得积分10
9秒前
依人如梦完成签到 ,获得积分10
10秒前
11秒前
PDIF-CN2完成签到,获得积分10
15秒前
雪雪完成签到 ,获得积分10
16秒前
17秒前
Willow完成签到,获得积分10
20秒前
研研研完成签到,获得积分10
21秒前
大橙子发布了新的文献求助10
23秒前
dejiangcj完成签到 ,获得积分10
24秒前
无味完成签到,获得积分10
25秒前
大气的尔蓝完成签到,获得积分10
26秒前
科研通AI5应助普鲁卡因采纳,获得10
27秒前
略略略完成签到 ,获得积分10
29秒前
zqlxueli完成签到 ,获得积分10
33秒前
无语的断缘完成签到,获得积分10
35秒前
hdx完成签到 ,获得积分10
36秒前
健壮的涑完成签到 ,获得积分10
37秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
41秒前
普鲁卡因发布了新的文献求助10
41秒前
高大绝义完成签到,获得积分10
43秒前
45秒前
黄超超发布了新的文献求助10
46秒前
ZEcholy完成签到 ,获得积分20
46秒前
大橙子发布了新的文献求助10
47秒前
小幸运完成签到,获得积分10
49秒前
淡然一德完成签到,获得积分10
52秒前
咖啡豆完成签到 ,获得积分10
53秒前
54秒前
龙猫爱看书完成签到,获得积分10
54秒前
you完成签到,获得积分10
55秒前
黄超超完成签到,获得积分10
57秒前
玄音完成签到,获得积分10
58秒前
高分求助中
【提示信息,请勿应助】关于scihub 10000
Les Mantodea de Guyane: Insecta, Polyneoptera [The Mantids of French Guiana] 3000
徐淮辽南地区新元古代叠层石及生物地层 3000
The Mother of All Tableaux: Order, Equivalence, and Geometry in the Large-scale Structure of Optimality Theory 3000
Handbook of Industrial Diamonds.Vol2 1100
Global Eyelash Assessment scale (GEA) 1000
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 550
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 4038128
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3575831
关于积分的说明 11373827
捐赠科研通 3305610
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1819255
邀请新用户注册赠送积分活动 892655
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 815022