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The progress and challenges of threshold voltage control of high-k/metal-gated devices for advanced technologies (Invited Paper)

PMOS逻辑 NMOS逻辑 CMOS芯片 MOSFET 阈值电压 光电子学 材料科学 金属浇口 高-κ电介质 电气工程 稳健性（进化） 电子工程 电压 工程物理 工程类 栅氧化层 化学 晶体管 基因 电介质 生物化学
作者
Hsing‐Huang Tseng,Paul Kirsch,C.S. Park,G. Bersuker,Prashant Majhi,Muhammad M. Hussain,Raj Jammy
出处
期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier]
日期：2009-03-20 卷期号：86 (7-9): 1722-1727 被引量：18
标识
DOI：10.1016/j.mee.2009.03.092
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