Study on Planarization Layer Uniformity of Large-aperture Optical Elements Based on Ion Beam Sputtering

化学机械平面化 溅射 材料科学 图层(电子) 光圈(计算机存储器) 离子束 梁(结构) 光电子学 光学 聚焦离子束 离子 复合材料 薄膜 纳米技术 物理 声学 量子力学
作者
冯时 Feng Shi,付秀华 Fu Xiuhua,王大森 Wang Dasen,李晓静 LI Xiao-jing,聂凤明 NIE Feng-ming,张旭 Zhang Xu
出处
期刊:Acta Photonica Sinica [Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics]
卷期号:48 (1): 131002-131002
标识
DOI:10.3788/gzxb20194801.0131002
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