Impact of Process Sequence and Device Architecture on Mechanical Stress and Electrical Properties of 3-D Nand Flash

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作者
Donghyun Kim,Kihoon Nam,Chanyang Park,Hyunseo You,Yunsu Kim,S. B. Park,Rock‐Hyun Baek
出处
期刊:IEEE Transactions on Electron Devices [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:71 (9): 5354-5360
标识
DOI:10.1109/ted.2024.3430249
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