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The effect of the process gas mixture ratio on the structure and composition of TiC and TiCN thin layers prepared by cathodic arc deposition on tool steel

材料科学 残余应力 阴极保护 沉积(地质) 冶金 涂层 弧(几何) 图层(电子) 阴极电弧沉积 薄膜 复合材料 硬度 电化学 电极 古生物学 化学 物理化学 沉积物 生物 几何学 数学 纳米技术
作者
Totka Bakalová,Lucie Svobodová,Nikolay Petkov,Hristo Bahchedzhiev,Martin Švec,Pavel Kejzlar,P. Šutta,Karel Daďourek
出处
期刊:Journal of Manufacturing Processes [Elsevier BV]
卷期号:93: 90-100 被引量:5
标识
DOI:10.1016/j.jmapro.2023.02.067
摘要

The presented research introduces the possibilities of setting the parameters of the deposition of thin coatings so that the desired surface properties are achieved. For the examined TiCN and TiC thin coatings, applied by the cathodic arc method (Arc-PVD), the dependence was revealed between the hardness of the coatings, the residual stress, and the wear resistance, which significantly affect the service life of the coated parts. The statistical analysis of the results shows the optimal ratio between nano-hardness and internal stress, at which the least wear of the layer occurs (the ratio of hardness and magnitude of compressive stress must be approximately equal to 10). The research is focused on predicting the utility properties of thin TiCN coatings to reduce the wear of modified surfaces.
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