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Profiles and defects in highly channeled and random beam orientation MeV dopant implants in Si(100)

材料科学 光致发光 重组 梁（结构） Crystal（编程语言） 光学 光电子学 物理 计算机科学 基因 程序设计语言 生物化学 化学
作者
Michael Current,Yoji Kawasaki,Takuya Sakaguchi,A. Pongrácz,Viktor Samu
出处
期刊：MRS Advances [Springer Nature]
日期：2023-01-05 卷期号：7 (36): 1454-1458 被引量：2
标识
DOI：10.1557/s43580-022-00481-2
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