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Preparation of Ta/Nb coatings on the inner surface of 30 mm barrels by high-power impulse magnetron sputtering

高功率脉冲磁控溅射 材料科学 溅射沉积 溅射 腔磁控管 脉冲(物理) 光电子学 纳米技术 薄膜 物理 量子力学
作者
Volodymyr Kolomiiets,O.I. Shkurat,S.M. Kravchenko,Iryna Kononenko
出处
期刊:Results in surfaces and interfaces [Elsevier]
卷期号:: 100363-100363
标识
DOI:10.1016/j.rsurfi.2024.100363

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