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Growth-based monolithic 3D integration of single-crystal 2D semiconductors

半导体 薄脆饼 无定形固体 晶体管 单晶 材料科学 晶体硅 光电子学 集成电路 结晶学 硅 纳米技术 工程物理 化学 电气工程 工程类 电压
作者
Ki Seok Kim,Seunghwan Seo,Junyoung Kwon,Doyoon Lee,Changhyun Kim,Jung‐El Ryu,Jekyung Kim,Jun Min Suh,Hanggyo Jung,Youhwan Jo,June‐Chul Shin,Min‐Kyu Song,Feng Jin,Hogeun Ahn,Sangho Lee,Kyeongjae Cho,Jongwook Jeon,Minsu Seol,Jin‐Hong Park,Sang Won Kim,J. M. Kim
出处
期刊：Nature [Nature Portfolio]
日期：2024-12-18 卷期号：636 (8043): 615-621
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1038/s41586-024-08236-9
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