Incremental FIB-DIC Ring-Core Methods for the Residual Stress Measurement of Bilayer Thin Films

残余应力 材料科学 薄膜 双层 复合材料 压力(语言学) 钻孔法 应力松弛 纳米技术 化学 生物化学 语言学 哲学 蠕动
作者
Nhat Minh Dang,Wei-Yu Ku,Z.-Y. Wang,Chang‐Yu Lin,Terry Yuan-Feng Chen,Ming-Tzer Lin
出处
期刊:Experimental Mechanics [Springer Nature]
卷期号:62 (8): 1489-1499 被引量:5
标识
DOI:10.1007/s11340-022-00877-z
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