原子层沉积
材料科学
四方晶系
薄膜
纳米晶材料
分析化学（期刊）
单斜晶系
基质（水族馆）
镨
图层（电子）
沉积（地质）
纳米技术
晶体结构
化学
结晶学
冶金
古生物学
海洋学
色谱法
沉积物
地质学
生物
作者
Kaupo Kukli,Lauri Aarik,Guillermo Vinuesa,S. Dueñas,Helena Castán,H. García,Aarne Kasikov,Peeter Ritslaid,Helle‐Mai Piirsoo,Jaan Aarik
出处
期刊：Materials
[Multidisciplinary Digital Publishing Institute]
日期：2022-01-24
卷期号：15 (3): 877-877
被引量：4
摘要
Crystal structure and electrical properties of hafnium-praseodymium oxide thin films grown by atomic layer deposition on ruthenium substrate electrodes were characterized and compared with those of undoped HfO
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
pluto
cdercder
Oracle
qiao
bc
笨笨芯
平常的毛豆
昏睡的蟠桃
小飞飞
研友_Y59785
wy.he
iNk
归尘
我剑也未尝不利
xiahou
余味
back you up
科研小民工
冰魂
高大凌寒
皖公网安备34019202002308
