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Si Epitaxial Growth on the Atomic-Order Nitrided Si(100) Surface in SiH4 Reaction

渗氮外延材料科学曲面（拓扑）纳米技术数学图层（电子）几何学

作者

Youngcheon Jeong,Masao Sakuraba,Takashi Matsuura,Junichi Murota

出处

期刊：Elsevier eBooks [Elsevier]
日期：2003-01-01 卷期号：: 139-144 被引量：2

标识

DOI：10.1016/b978-044451339-7/50020-9

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