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Structure, mechanical properties and thermal stability of CrAlN/ZrO2 nanomultilayers deposited by magnetron sputtering

材料科学 高分辨率透射电子显微镜 退火（玻璃） 溅射沉积 透射电子显微镜 弹性模量 四方晶系 热稳定性 复合材料 外延 纳米压痕 溅射 微观结构 薄膜 图层（电子） 结晶学 纳米技术 晶体结构 化学 有机化学
作者
Wei Li,Ping Liu,Yongsheng Zhao,Fengcang Ma,Xinkuan Liu,Xiaohong Chen,Daihua He
出处
期刊：Journal of Alloys and Compounds [Elsevier]
日期：2013-02-18 卷期号：562: 5-10 被引量：22
标识
DOI：10.1016/j.jallcom.2013.02.020
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