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A pressure- temperature microsensor based on synergistical sensing of dual resonators

材料科学 压力测量 谐振器 温度测量 压力传感器 工作（物理） 热的 灵敏度（控制系统） 热膨胀 振膜（声学） 光电子学 声学 机械工程 电子工程 热力学 复合材料 工程类 物理 振动
作者
Yulan Lu,Zongze Yu,Bo Xie,Deyong Chen,Junbo Wang
出处
期刊：Measurement [Elsevier BV]
日期：2023-11-28 卷期号：224: 113946-113946 被引量：2
标识
DOI：10.1016/j.measurement.2023.113946
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