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An Etching-Free Method for Patterning Carbon Nanotube Films Enabled by Universal Wettability Modulation

碳纳米管 蚀刻(微加工) 材料科学 润湿 纳米技术 数码产品 光电子学 薄脆饼 晶体管 等离子体刻蚀 电气工程 复合材料 电压 工程类 图层(电子)
作者
Rui Qiu,Qinqi Ren,Qi Liu,Lei Lü,Min Zhang
标识
DOI:10.1109/nmdc46933.2022.10052161
摘要

Non-destructive patterning of low-dimensional materials has always been a challenge. An etching-free patterning method for high-density carbon nanotube (CNT) network has been proposed based on a wettability modulation method. By adopting this method, we have realized high-resolution patterns of CNT films, which have been uniformly formed on the wetting regions with precise boundaries. A flexible thin-film transistor array has been further realized, which shows excellent electrical performance with on/off current ratio of 10 4 as well as subthreshold swing of 280 mV/dec. This high-efficiency, high-resolution, and etching-free patterning approach of CNTs holds great promise for numerous potential applications in flexible and stretchable electronics and provides general solution for the low-temperature low-dimension material fabrications of advanced electronics.
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