Short-Pulse Laser and Plasma Etching Composite Micromachining for Realizing High-Accuracy SiC Pressure Sensor

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作者
Yabing Wang,You Zhao,Yu Yang,Yulong Zhao
出处
期刊:IEEE Transactions on Electron Devices [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:: 1-7
标识
DOI:10.1109/ted.2025.3539647

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