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Effect of hydrogen flow rate on the plasma state and quality of diamond crystals grown by MPCVD

材料科学 钻石 等离子体 氢 流量（数学） 体积流量 质量（理念） 国家（计算机科学） 工程物理 核工程 机械 复合材料 物理 计算机科学 核物理学 工程类 算法 量子力学
作者
Caoyuan Mu,Genzhuang Li,Xianyi Lv,Shaoheng Cheng,Qiliang Wang,Liuan Li,Guangtian Zou
出处
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier]
日期：2025-01-01 卷期号：185: 108884-108884
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2024.108884
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