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Review on mid-spatial frequency error suppression in optical components manufacturing

抛光 瓶颈 计算机科学 过程（计算） 空间频率 电子工程 工程类 机械工程 光学 物理 操作系统 嵌入式系统
作者
Yonghong Deng,Xi Hou,Bincheng Li,Jia Wang,Yun Zhang
出处
期刊：The International Journal of Advanced Manufacturing Technology [Springer Nature]
日期：2023-05-06 卷期号：126 (11-12): 4827-4847 被引量：15
标识
DOI：10.1007/s00170-023-11408-y
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