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Ti/Al/Ti干法刻蚀工艺中BCl3气体作用研究
材料科学
作者
李淳东,
李知勋,
陈兵,
Liu Jie,
吴国特,
苗占成
出处
期刊:液晶与显示
日期:2019-01-01
卷期号:34 (9): 857-861
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