Universal mechanisms of Al metallization ageing in power MOSFET devices

MOSFET 老化 材料科学 功率(物理) 功率MOSFET 电气工程 光电子学 工程物理 电子工程 工程类 晶体管 电压 物理 医学 量子力学 内科学
作者
Donatien Martineau,C. Levade,M. Legros,P. Dupuy,T. Mazeaud
出处
期刊:Microelectronics Reliability [Elsevier]
卷期号:54 (11): 2432-2439 被引量:32
标识
DOI:10.1016/j.microrel.2014.06.010
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