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Strain evaluation of strained-Si layers on SiGe by the nano-beam electron diffraction (NBD) method

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作者

Koji Usuda,Toshinori Numata,Shinichi Takagi

出处

期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier]
日期：2004-12-15 卷期号：8 (1-3): 155-159 被引量：33

标识

DOI：10.1016/j.mssp.2004.09.105

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