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High‐Yield Production of High‐κ/Metal Gate Nanopattern Array for 2D Devices via Oxidation‐Assisted Etching Approach (Small 51/2024)

材料科学 蚀刻（微加工） 产量（工程） 纳米技术 金属 光电子学 冶金 图层（电子）
作者
Weida Hong,Jiejun Zhang,Daobing Zeng,Chen Wang,Zhongying Xue,Miao Zhang,Ziao Tian,Zengfeng Di
出处
期刊：Small [Wiley]
日期：2024-12-01 卷期号：20 (51)
标识
DOI：10.1002/smll.202470378
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