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Influence of deposition pressure on microstructure, mechanical and electrical properties of niobium thin films

微观结构 铌 薄膜 材料科学 沉积（地质） 冶金 电阻率和电导率 复合材料 矿物学 纳米技术 化学 地质学 电气工程 古生物学 工程类 沉积物
作者
P. Nageswara Rao,Mukesh Kumar Swami,Amrit Ghosh,Ravindra Jangir,Sanjay Rai
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier]
日期：2024-08-01 卷期号：: 140503-140503
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2024.140503
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