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Micro-cracks Generation and Growth Manipulation by All-Laser Processing for Low Kerf-loss and High Surface Quality SiC Slicing

切片 材料科学 光学 材料加工 激光器 质量（理念） 曲面（拓扑） 激光束 光电子学 计算机科学 计算机图形学（图像） 物理 工程类 几何学 制造工程 量子力学 数学
作者
Xiangfu Liu,Minghui Hong
出处
期刊：Optics Express [The Optical Society]
日期：2024-10-02
链接
doi.orgdoi.org
标识
DOI：10.1364/oe.540604
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