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High Dielectric Performance of Solution-Processed Aluminum Oxide-Boron Nitride Composite Films

材料科学 电介质 X射线光电子能谱 氮化硼 电容器 氮化物 氧化物 薄膜 硼 介电损耗 复合数 复合材料 化学工程 光电子学 纳米技术 冶金 电压 电气工程 图层（电子） 有机化学 化学 工程类
作者
Byoung‐Soo Yu,Tae‐Jun Ha
出处
期刊：Electronic Materials Letters [Springer Nature]
日期：2018-04-11 卷期号：14 (5): 563-568 被引量：3
标识
DOI：10.1007/s13391-018-0063-9
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