Implementation of a wafer positioning system

薄脆饼 职位(财务) 计算机科学 过程(计算) 晶圆制造 晶片测试 工程类 电子工程 电气工程 财务 经济 操作系统
作者
Yi-Cheng Chen,Yun-Yen Lee,Ju-Yi Lee,Jianyou Chen
出处
期刊:Society of Instrument and Control Engineers of Japan 卷期号:: 1938-1943 被引量:3
链接
摘要

This study implements a system for determining the precise location of a moving wafer in a process chamber. An array of optical sensors positioned along an axis transverse to the path of a moving wafer is employed in this wafer positioning system. A computer program for wafer center calculation is developed based on the time dependent signals from the optical sensing module. The developed computer program has a human machine interface, and estimates the center position as well as the moving direction of the wafer.

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