A Quadrilateral Gas Sensor Cell by Complete MEMS Process for Gas Identification

微电子机械系统 四边形的 鉴定(生物学) 过程(计算) 材料科学 计算机科学 工程类 光电子学 有限元法 结构工程 植物 生物 操作系统
作者
Yujie Yang,Dongcheng Xie,Dongliang Chen,Liang Geng,Yan Zhang,Lei Xu,Feng Wu
出处
期刊:IEEE Sensors Journal [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:: 1-1
标识
DOI:10.1109/jsen.2024.3502637
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