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Ti thin-film reaction on SiO2/Si

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作者
Shoji Iida,Shinji Abe
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier]
日期：1994-06-01 卷期号：78 (2): 141-146 被引量：12
标识
DOI：10.1016/0169-4332(94)00107-3
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