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Design and fabrication of through-glass via (TGV) based 3D spiral inductors in fused silica substrate

材料科学 电感器 制作 电感 光刻胶 电磁线圈 Q系数 光电子学 基质（水族馆） 欧姆接触 复合材料 电气工程 图层（电子） 谐振器 工程类 地质学 海洋学 病理 医学 电压 替代医学
作者
Harindra Kumar Kannojia,Aboobackkar Sidhique,Ambika Shanker Shukla,Jaising Pednekar,Shalabh Gupta,Pradeep Dixit
出处
期刊：Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems [Springer Nature]
日期：2021-11-22 卷期号：28 (4): 955-964 被引量：5
标识
DOI：10.1007/s00542-021-05244-x
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