BEOL-Compatible In2O3 Thin-Film Transistor with Linear Dielectric ZrO2 Achieving Dielectric Constant over 27 and Enhanced Field-Effect Mobility Up To 89.3 cm2·V−1·s−1

电介质 材料科学 高-κ电介质 光电子学 晶体管 介电常数 场效应晶体管 栅极电介质 电子迁移率 电气工程 工程类 电压
作者
Zehao Lin,Peide D. Ye
标识
DOI:10.1109/snw63608.2024.10639205
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